发明公开
- 专利标题: 一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法
- 专利标题(英): Wet etching apparatus and wet etching method
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申请号: CN201310302745.9申请日: 2013-07-18
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公开(公告)号: CN103409752A公开(公告)日: 2013-11-27
- 发明人: 房现飞 , 周广福 , 代智杰 , 孟原
- 申请人: 新奥光伏能源有限公司
- 申请人地址: 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号
- 专利权人: 新奥光伏能源有限公司
- 当前专利权人: 新奥光伏能源有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省廊坊市经济技术开发区华祥路106号
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 杜秀科
- 主分类号: C23F1/08
- IPC分类号: C23F1/08
摘要:
本发明涉及刻蚀技术领域,公开了一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法,所述湿法刻蚀设备,包括:接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置,以及位于温度控制室内的控温系统,刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室、温度控制室、湿法刻蚀室和出板室;所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度。此外,本发明还提供了一种湿法刻蚀方法。采用本发明技术方案,由于调整刻蚀物的温度至设定温度,因此,当刻蚀液对刻蚀物进行刻蚀时,保证了刻蚀速率的一致性,提高了刻蚀生产的连续稳定性,可以适应大规模连续在线生产的要求。
公开/授权文献
- CN103409752B 一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 公开/授权日:2015-10-14