Invention Publication
- Patent Title: 导电晶种层的激光移除
- Patent Title (English): Laser removal of conductive seed layers
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Application No.: CN201280012947.3Application Date: 2012-01-11
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Publication No.: CN103442840APublication Date: 2013-12-11
- Inventor: 马修·E·苏特
- Applicant: 落叶松科学有限公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 落叶松科学有限公司
- Current Assignee: 落叶松科学有限公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 路勇
- Priority: 61/432,539 2011.01.13 US; 13/348,063 2012.01.11 US
- International Application: PCT/US2012/020983 2012.01.11
- International Announcement: WO2012/097092 EN 2012.07.19
- Date entered country: 2013-09-11
- Main IPC: B23K26/06
- IPC: B23K26/06 ; B23K26/08 ; H01L21/768 ; B23K26/14 ; B23K26/12 ; B23K26/40

Abstract:
针对一实施例,一种用于在衬底(104)的表面上制作导电迹线及互连件的方法包含在所述衬底(104)的所述表面上形成电介质层或聚合物层(404);在所述电介质层或聚合物层(404)上形成导电材料的晶种层(402);将所述晶种层上的光致抗蚀剂图案化;在所述经图案化的光致抗蚀剂及晶种层上形成所述导电迹线;从所述衬底(104)移除所述光致抗蚀剂;及用可有效地从所述衬底表面的除所述导电迹线以外的区域烧蚀所述晶种层(402)的激光(108)的通量照射所述衬底的所述表面。
Public/Granted literature
- CN103442840B 导电晶种层的激光移除 Public/Granted day:2015-07-01
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