极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法
摘要:
极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法,它涉及一种光学收集镜粗加工方法,以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工,需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴,再对实心轴表面进行镍沉积处理,之后将镍壳剥离形成收集镜基底,按照此方案的技术要求,加工过程中精度控制要求非常严格,增加了加工成本的问题,所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现:一、坯料粗车,首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件;二、数控车削,由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。
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