- 专利标题: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法
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申请号: CN201310438498.5申请日: 2013-09-24
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公开(公告)号: CN103447552B公开(公告)日: 2015-08-19
- 发明人: 赵永蓬 , 徐强 , 王骐
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 高媛
- 主分类号: B23B5/00
- IPC分类号: B23B5/00 ; B23B1/00 ; B23P15/00
摘要:
极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法,它涉及一种光学收集镜粗加工方法,以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工,需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴,再对实心轴表面进行镍沉积处理,之后将镍壳剥离形成收集镜基底,按照此方案的技术要求,加工过程中精度控制要求非常严格,增加了加工成本的问题,所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现:一、坯料粗车,首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件;二、数控车削,由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。
公开/授权文献
- CN103447552A 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法 公开/授权日:2013-12-18