本发明公开了一种集成度较高、可靠性较好的光集成固体继电器。该光集成固体继电器，包括集成于同一衬底上的控制电路和输出端功率半导体器件，还包括光电池阵列，所述光电池阵列集成在输出端功率半导体器件表面的漂移区，所述光电池阵列由若干个光伏电池串联而成。该光集成固体继电器的光电池阵列集成在输出端功率半导体器件表面的漂移区，因此，光电池阵列不需要占用衬底版图的面积，减小了衬底的表面积，可以大大提高芯片的集成度，而且本发明将光电池阵列、控制电路和输出端功率半导体器件集成于同一衬底上，集成功率器件的固体继电器减小了封装的难度和寄生效应，有效地提高了继电器的可靠性，适合在电力电子技术领域推广应用。