发明授权
- 专利标题： 测光装置和曝光装置
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申请号： CN201280016296.5申请日： 2012-03-29
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公开(公告)号： CN103460137B公开(公告)日： 2016-05-25
- 发明人: 藤森昭芳 , 金井信夫 , 藤原和正 , 上条圭 , 南云阳佑
- 申请人： 株式会社ORC制作所
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社ORC制作所
- 当前专利权人： 株式会社ORC制作所
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 于靖帅
- 优先权： 2011-074420 2011.03.30 JP
- 国际申请： PCT/JP2012/058304 2012.03.29
- 国际公布： WO2012/133616 JA 2012.10.04
- 进入国家日期： 2013-09-29
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G01J1/02 ; H01L21/027
摘要：
曝光装置具备：放电灯，其放射包括g线（436nm）、h线（405nm）、i线（365nm）的亮线的光；光测量单元，其具有受光部，对从放电灯放射的光进行测量；以及照明调整单元，其根据光测量单元中的测量值，调整向放电灯供给的功率。并且，光测量单元具有在g线、h线、i线中相邻的2个亮线之间具有峰值灵敏度的分光灵敏度特性。
公开/授权文献
- CN103460137A 放电灯 公开/授权日：2013-12-18
IPC分类:
