发明公开
CN103460346A 杂质扩散用涂布液
无效 - 撤回
- 专利标题: 杂质扩散用涂布液
- 专利标题(英): Coating liquid for diffusing impurity
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申请号: CN201280017009.2申请日: 2012-05-18
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公开(公告)号: CN103460346A公开(公告)日: 2013-12-18
- 发明人: 佐藤弘章 , 胜间胜彦 , 加藤邦泰 , 堤由佳
- 申请人: 日本合成化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 日本合成化学工业株式会社
- 当前专利权人: 日本合成化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2011-113352 2011.05.20 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/062745 2012.05.18
- 国际公布: WO2012/161107 JA 2012.11.29
- 进入国家日期: 2013-09-30
- 主分类号: H01L21/225
- IPC分类号: H01L21/225
摘要:
一种杂质扩散用涂布液,其含有:聚乙烯醇系树脂(A)、杂质(B)以及沸点为100℃以上的多元醇(C),该多元醇(C)的含量为涂布液中的70重量%以上。因此,适合于丝网印刷,可实现长时间的连续印刷、间隔了空闲期后的印刷,即便将皮膜形成后的半导体基板以直立状态烧成,也能够得到电阻值的上下的差别小的半导体。
IPC分类: