发明公开
CN103472413A 一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器
- 专利标题(英): Micro electro mechanical system magnetic field sensor used for measuring direction of magnetic field
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申请号: CN201310461005.X申请日: 2013-09-30
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公开(公告)号: CN103472413A公开(公告)日: 2013-12-25
- 发明人: 陈洁 , 张澄 , 胡静洁 , 李嘉鹏
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市江宁区润发路5号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市江宁区润发路5号
- 代理机构: 南京瑞弘专利商标事务所
- 代理商 杨晓玲
- 主分类号: G01R33/028
- IPC分类号: G01R33/028
摘要:
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器,包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、金属层和氮化硅层,牺牲层的中部和金属层的中部均为空心,氮化硅层的中部为弯曲板,弯曲板的一侧设有向外延伸的凸板,金属层的顶面设有锚区,凸板与锚区固定连接,弯曲板位于金属层中部的上方;弯曲板的底面设置第一电容、第二电容和第三电容,弯曲板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线和沿弯曲板边缘布设的金属线;金属线的两端分别与一个第四焊盘连接;底电极层与金属层连接;在氮化硅层的边部上方设置第五焊盘,金属层与第五焊盘连接。该磁场传感器结构简单,可以实现磁场方向以及幅度的测量。
公开/授权文献
- CN103472413B 一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器 公开/授权日:2015-08-05