发明授权
- 专利标题: 搭载微小球的工件的修复装置
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申请号: CN201310221725.9申请日: 2013-06-05
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公开(公告)号: CN103474374B公开(公告)日: 2017-07-14
- 发明人: 渡辺大辅 , 扇田政和 , 池田和生 , 石崎康隆 , 大堺智司
- 申请人: 澁谷工业株式会社
- 申请人地址: 日本石川县
- 专利权人: 澁谷工业株式会社
- 当前专利权人: 澁谷工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本石川县
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 姜虎; 陈英俊
- 优先权: 2012-128542 20120606 JP
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/66
摘要:
本发明提供一种修复装置,其无须花费时间便可取得精确的搭载错误位置信息,进一步,使修正机构根据详细位置信息修正搭载错误,即使是以狭小间隔排列微小球的工件,也能够进行高精度修复。搭载微小球的工件的修复装置采用以下机构。第1,搭载错误检查机构由以下构件所构成:第1检查机构,其取得搭载错误的第1概略位置信息;以及第2检查机构,其根据该第1检查机构所取得的第1概略位置信息,从包含该第1检查机构所检测到的搭载错误在内的规定区域影像取得第2详细位置信息。第2,修正机构是根据第2详细位置信息修正搭载错误。
公开/授权文献
- CN103474374A 搭载微小球的工件的修复装置 公开/授权日:2013-12-25
IPC分类: