搭载微小球的工件的修复装置
摘要:
本发明提供一种修复装置,其无须花费时间便可取得精确的搭载错误位置信息,进一步,使修正机构根据详细位置信息修正搭载错误,即使是以狭小间隔排列微小球的工件,也能够进行高精度修复。搭载微小球的工件的修复装置采用以下机构。第1,搭载错误检查机构由以下构件所构成:第1检查机构,其取得搭载错误的第1概略位置信息;以及第2检查机构,其根据该第1检查机构所取得的第1概略位置信息,从包含该第1检查机构所检测到的搭载错误在内的规定区域影像取得第2详细位置信息。第2,修正机构是根据第2详细位置信息修正搭载错误。
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