一种横向集成SOI半导体功率器件
Abstract:
本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种具有n+埋层的横向集成的准超结SOI半导体功率器件。本发明的其元胞结构包括依次层叠设置的衬底、埋氧层和SOI层,还包括高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS;所述高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS设置在SOI层上,高压nLDMOS设置在高压pLDMOS和低压CMOS之间;其特征在于,所述高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS之间通过浅槽介质隔离区和层间介质相互隔离,所述层间介质与埋氧层的上表面连接,浅槽介质隔离区设置在层间介质上表面。本发明的有益效果为,可以实现100V~700V各种性能优良的高压器件,具有高速、高集成度、低导通损耗的优点。本发明尤其适用于横向集成SOI半导体功率器件。
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