Invention Publication
- Patent Title: 一种横向集成SOI半导体功率器件
- Patent Title (English): Horizontal integrated SOI semiconductor power device
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Application No.: CN201310421629.9Application Date: 2013-09-16
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Publication No.: CN103489865APublication Date: 2014-01-01
- Inventor: 乔明 , 李燕妃 , 胡利志 , 吴文杰 , 许琬 , 蔡林希 , 陈涛 , 张波
- Applicant: 电子科技大学
- Applicant Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- Assignee: 电子科技大学
- Current Assignee: 电子科技大学
- Current Assignee Address: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- Agency: 成都宏顺专利代理事务所
- Agent 李顺德; 王睿
- Main IPC: H01L27/088
- IPC: H01L27/088 ; H01L21/762
Abstract:
本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种具有n+埋层的横向集成的准超结SOI半导体功率器件。本发明的其元胞结构包括依次层叠设置的衬底、埋氧层和SOI层,还包括高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS;所述高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS设置在SOI层上,高压nLDMOS设置在高压pLDMOS和低压CMOS之间;其特征在于,所述高压pLDMOS、高压nLDMOS和低压CMOS之间通过浅槽介质隔离区和层间介质相互隔离,所述层间介质与埋氧层的上表面连接,浅槽介质隔离区设置在层间介质上表面。本发明的有益效果为,可以实现100V~700V各种性能优良的高压器件,具有高速、高集成度、低导通损耗的优点。本发明尤其适用于横向集成SOI半导体功率器件。
Public/Granted literature
- CN103489865B 一种横向集成SOI半导体功率器件 Public/Granted day:2015-10-21
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IPC分类: