发明授权
CN103499309B 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
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申请号: CN201310473266.3申请日: 2013-10-11
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公开(公告)号: CN103499309B公开(公告)日: 2016-04-27
- 发明人: 贾辛 , 徐富超 , 谢伟民 , 邢廷文
- 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 申请人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 专利权人: 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院光电技术研究所
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流350信箱
- 代理机构: 北京科迪生专利代理有限责任公司
- 代理商 杨学明; 顾炜
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法,自动干涉检测系统包括了独立地基,第一振动测量探头,主动隔振系统,大理石平台,第二振动测量探头,第三振动测量探头,调整架,转台,待测镜架,第四振动测量探头,第一导轨,第二导轨,干涉仪衍架,温度测量探头,外壳,干涉仪测量头,第五振动测量头,计算机组成。第一振动测量探头用于测量地面垂直振动,第二振动测量探头用于测量水平振动,第三振动测量探头用于测量平台台面垂直振动,第四振动测量探头用于测量待测镜架上振动,第五振动测量探头用于测量干涉仪测量头上垂直振动,温度测量探头用于测量干涉仪测量头和待测镜架之间的温度。
公开/授权文献
- CN103499309A 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法 公开/授权日:2014-01-08