一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
摘要:
本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法,自动干涉检测系统包括了独立地基,第一振动测量探头,主动隔振系统,大理石平台,第二振动测量探头,第三振动测量探头,调整架,转台,待测镜架,第四振动测量探头,第一导轨,第二导轨,干涉仪衍架,温度测量探头,外壳,干涉仪测量头,第五振动测量头,计算机组成。第一振动测量探头用于测量地面垂直振动,第二振动测量探头用于测量水平振动,第三振动测量探头用于测量平台台面垂直振动,第四振动测量探头用于测量待测镜架上振动,第五振动测量探头用于测量干涉仪测量头上垂直振动,温度测量探头用于测量干涉仪测量头和待测镜架之间的温度。
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