Invention Grant
- Patent Title: 透明光电探测器
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Application No.: CN201280021475.8Application Date: 2012-04-30
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Publication No.: CN103503145BPublication Date: 2016-03-02
- Inventor: T·巴尔维奇
- Applicant: 国际商业机器公司
- Applicant Address: 美国纽约
- Assignee: 国际商业机器公司
- Current Assignee: 格芯美国第二有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国纽约
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 贺月娇; 于静
- Priority: 13/099,827 2011.05.03 US
- International Application: PCT/US2012/035816 2012.04.30
- International Announcement: WO2012/151157 EN 2012.11.08
- Date entered country: 2013-11-01
- Main IPC: H01L27/148
- IPC: H01L27/148
Abstract:
一种透明光电探测器。该透明光电探测器包括：衬底；所述衬底上的波导；可移位结构，其能够相对于所述衬底移位，所述可移位结构邻近所述波导；以及硅纳米线阵列，其相对于所述衬底悬置并且被机械连接到所述可移位结构，所述硅纳米线阵列包括多条具有压阻的硅纳米线。在工作时，通过所述波导传播的光源在所述可移位结构上导致光学力，该光学力进一步导致所述纳米线上的应变，从而引起所述纳米线的电阻变化。所述衬底可以是绝缘体上半导体衬底。
Public/Granted literature
- CN103503145A 透明光电探测器 Public/Granted day:2014-01-08
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IPC分类:
