发明授权
- 专利标题： 靶材组件的制作方法
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申请号： CN201210206678.6申请日： 2012-06-18
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公开(公告)号： CN103506725B公开(公告)日： 2016-03-09
- 发明人: 姚力军 , 相原俊夫 , 大岩一彦 , 潘杰 , 王学泽 , 何梅
- 申请人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号
- 专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
- 当前专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号： B23K1/00
- IPC分类号： B23K1/00
摘要：
一种靶材组件的制作方法，包括：提供镍靶材坯料和背板，所述背板具有容纳镍靶材坯料的凹槽；利用钎料在所述镍靶材坯料的待焊接面形成第一钎料层；利用钎料在所述背板的待焊接面形成第二钎料层；将所述镍靶材坯料放入所述背板凹槽，利用焊接工艺使第一钎料层和第二钎料层结合，以形成由镍靶材坯料和背板构成的靶材组件。本发明能够使超高纯镍靶材与背板进行可靠性结合，焊接效率高并且焊接缺陷率小，满足长期稳定生产、使用靶材的需要。
公开/授权文献
- CN103506725A 靶材组件的制作方法 公开/授权日：2014-01-15
IPC分类:
