发明授权
- 专利标题: 基板结构的制作方法
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申请号: CN201210352995.9申请日: 2012-09-20
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公开(公告)号: CN103531485B公开(公告)日: 2016-12-21
- 发明人: 陈庆盛
- 申请人: 旭德科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹县
- 专利权人: 旭德科技股份有限公司
- 当前专利权人: 旭德科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陈小雯
- 优先权: 101123724 2012.07.02 TW
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明公开一种基板结构的制作方法。该制作方法提供一基材。基材具有一核心层、一第一图案化铜层、一第二图案化铜层以及至少一导电通孔。第一图案化铜层与第二图案化铜层分别位于核心层的一第一表面与一第二表面上。导电通孔贯穿核心层且连接第一图案化铜层与第二图案化铜层。分别形成一第一防焊层与一第二防焊层于第一表面与第二表面上。第一防焊层与第二防焊层分别暴露出部分第一图案化铜层与部分第二图案化铜层。形成一第一金层于第一防焊层与第二防焊层所暴露出的第一图案化铜层与第二图案化铜层上。形成一镍层于第一金层上。形成一第二金层于镍层上。
公开/授权文献
- CN103531485A 基板结构的制作方法 公开/授权日:2014-01-22
IPC分类: