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压电柔性隔膜泵
Abstract:
本发明涉及一种压电柔性隔膜泵,由压电陶瓷、振动基板、储液腔、驱动孔、驱动液、柔性隔膜、泵腔、入口单向阀、出口单向阀、入口和出口组成,其中压电陶瓷和振动基板粘接构成压电振子,压电振子设在储液腔的上部或下部,储液腔的上部或下部开设有与储液腔相连的驱动孔,柔性隔膜设在驱动孔上并将驱动液与泵腔隔开,压电振子、储液腔和柔性隔膜共同构成一个密封的空间,内部充满驱动液,入口单向阀和出口单向阀分别安装在泵腔的入口与出口处。本发明利用液力间接驱动柔性隔膜的运动,能够充分利用压电振子的整体变形,可实现很高的泵腔压缩比,具有自吸性好、排气泡能力强,输出压力高的优点。
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