发明授权
摘要：
本发明公开一种验证单晶压力传感器的状态的方法。该方法包括提供单晶压力传感器，其具有随着所施加的被连接到第一输出和第二输出的压力变化的至少一个电特性。压力传感器还具有位于其中的至少一个电阻元件。电流通过电阻元件施加以加热压力传感器。压力传感器的至少一个输出被监测以确定压力传感器对电流感应热量的响应。基于所述响应提供验证输出。
公开/授权文献
- CN103575465A 用于单晶过程流体压力传感器的热诊断 公开/授权日：2014-02-12
