发明公开
- 专利标题： MEMS传感器的校准
- 专利标题（英）： Calibration of MEMS sensor
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申请号： CN201180071239.2申请日： 2011-06-30
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公开(公告)号： CN103582607A公开(公告)日： 2014-02-12
- 发明人: B.D.霍梅耶尔 , R.N.比克内尔
- 申请人： 惠普发展公司 , 有限责任合伙企业
- 申请人地址： 美国德克萨斯州
- 专利权人： 惠普发展公司,有限责任合伙企业
- 当前专利权人： 惠普发展公司,有限责任合伙企业
- 当前专利权人地址： 美国德克萨斯州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 谢攀; 徐红燕
- 国际申请： PCT/US2011/042724 2011.06.30
- 国际公布： WO2013/002809 EN 2013.01.03
- 进入国家日期： 2013-11-29
- 主分类号： B81B7/02
- IPC分类号： B81B7/02 ; G01H17/00 ; G01V1/16
摘要：
微电子机械系统（MEMS）传感器被激发。该MEMS传感器的响应被测量。该MEMS传感器被校准。
公开/授权文献
- CN103582607B MEMS传感器的校准 公开/授权日：2017-05-17