- 专利标题: 一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置
- 专利标题(英): Ultra-precise three-axis association micro-milling device with micro-tool monitoring capacity
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申请号: CN201310631580.X申请日: 2013-12-02
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公开(公告)号: CN103586986B公开(公告)日: 2015-07-08
- 发明人: 陈明君 , 肖勇 , 郭占玥 , 张文明 , 李旦 , 梁迎春
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 高媛
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00
摘要:
一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置,涉及一种超精密三轴联动微铣削装置。为了解决目前无大口径KDP晶体元件表面微缺陷修复设备的问题。刀具移动部分布线板、刀具移动部分垫块及手动升降调整平台均固定在底部安装平板的上端面,刀具三轴联动平台固定在刀具移动部分垫块上,切屑收集总成与刀具三轴联动平台连接,刀具显微镜移动平台、手动升降调整平台及显微镜连接板由上至下依次连接,显微镜连接板与底部安装平板的上端面连接。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷的超精密修复。
公开/授权文献
- CN103586986A 一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置 公开/授权日:2014-02-19