发明公开
CN103592703A 一种低损耗平面超透镜及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种低损耗平面超透镜及其制作方法
- 专利标题(英): Low-loss plane superlens and manufacturing method of low-loss plane superlens
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申请号: CN201310574700.7申请日: 2013-11-15
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公开(公告)号: CN103592703A公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: 肖淑敏 , 宋清海 , 孙上
- 申请人: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽镇深圳大学城哈工大校区
- 专利权人: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽镇深圳大学城哈工大校区
- 代理机构: 深圳市科吉华烽知识产权事务所
- 代理商 张立娟
- 主分类号: G02B3/00
- IPC分类号: G02B3/00
摘要:
本发明提供低损耗平面超透镜,平面超透镜是由交替出现的深色和浅色的多层膜组成,层数在20层到30层之间,深色部分是增益层,浅色部分是金属材料层,增益层材料厚度都为Wg,金属层厚度都为Wm;最顶层为金属层,最底层为增益层。低损耗平面超透镜的制作方法,步骤1.在平整的紫外透明基底上利用真空热蒸镀的办法蒸镀上厚度为Wg的增益层;步骤2.在步骤1得到的增益层的基础上,利用电子束蒸镀的办法镀上厚度为Wm的金属层;步骤3.在步骤2得到的平面膜的上面交替镀上周期性的增益层和金属层多层膜;步骤4.最后在表面上再镀上厚度为Wg的增益层作为保护层。这种超透镜的分辨率很高,重量很轻和厚度很薄,并且由于是一个平面结构,很容易集成和利用。
公开/授权文献
- CN103592703B 一种低损耗平面超透镜及其制作方法 公开/授权日:2016-01-20