一种低损耗平面超透镜及其制作方法
摘要:
本发明提供低损耗平面超透镜,平面超透镜是由交替出现的深色和浅色的多层膜组成,层数在20层到30层之间,深色部分是增益层,浅色部分是金属材料层,增益层材料厚度都为Wg,金属层厚度都为Wm;最顶层为金属层,最底层为增益层。低损耗平面超透镜的制作方法,步骤1.在平整的紫外透明基底上利用真空热蒸镀的办法蒸镀上厚度为Wg的增益层;步骤2.在步骤1得到的增益层的基础上,利用电子束蒸镀的办法镀上厚度为Wm的金属层;步骤3.在步骤2得到的平面膜的上面交替镀上周期性的增益层和金属层多层膜;步骤4.最后在表面上再镀上厚度为Wg的增益层作为保护层。这种超透镜的分辨率很高,重量很轻和厚度很薄,并且由于是一个平面结构,很容易集成和利用。
公开/授权文献
0/0