多层多芯片扇出结构及制作方法
Abstract:
本发明提供一种多层多芯片扇出结构,包括一承载板,所述承载板上设有多个层叠的封装子体;各封装子体内均封装有至少一个管芯;在各封装子体中,管芯被介质层的介质材料所包覆,管芯采用正面向上的形式贴装在金属垫块上;在每一封装子体的介质层上均设有RDL层;管芯正面的焊盘通过第一互连孔与该管芯所在封装子体的RDL层电连接;相邻封装子体之间设有绝缘层,相邻封装子体的RDL层之间通过层间的第二互连孔电连接。底部封装子体中的金属垫块压在承载板的表面上;中间或顶部的封装子体中的金属垫块压在封装子体间的绝缘层上;在顶部封装子体的表面布设有一层阻焊层。本发明能够较为容易地实现三维多芯片堆叠。
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