发明公开
CN103594491A 一种CDMOS工艺以及制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种CDMOS工艺以及制作方法
- 专利标题(英): CDMOS technology and a manufacturing method
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申请号: CN201210288958.6申请日: 2012-08-14
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公开(公告)号: CN103594491A公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: 李天贺 , 陈建国
- 申请人: 北大方正集团有限公司 , 深圳方正微电子有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 专利权人: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 黄志华
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L27/06 ; H01L21/8249
摘要:
本发明公开了一种CDMOS工艺以及制作方法,其主要内容包括:将现有技术中CDMOS工艺中的耗尽型NMOS器件用PMOS器件代替,为了实现这种替代,在制作工艺上,增加了N型隔离阱,所述N型隔离阱处于P型隔离阱的空间内,并将增加的PMOS器件处于N型隔离阱内工作,由于PMOS器件是增强型器件,只有在PMOS器件栅极电压值达到设定的开启电压值时才进行工作,否则PMOS器件不工作,与现有的耗尽型NMOS器件相比,可避免耗尽型NMOS器件在不工作的状态下静态漏电流偏大导致芯片待机功耗偏大的问题。
公开/授权文献
- CN103594491B 一种CDMOS制作方法 公开/授权日:2016-07-06
IPC分类: