发明公开

一种CDMOS工艺以及制作方法
摘要:
本发明公开了一种CDMOS工艺以及制作方法,其主要内容包括:将现有技术中CDMOS工艺中的耗尽型NMOS器件用PMOS器件代替,为了实现这种替代,在制作工艺上,增加了N型隔离阱,所述N型隔离阱处于P型隔离阱的空间内,并将增加的PMOS器件处于N型隔离阱内工作,由于PMOS器件是增强型器件,只有在PMOS器件栅极电压值达到设定的开启电压值时才进行工作,否则PMOS器件不工作,与现有的耗尽型NMOS器件相比,可避免耗尽型NMOS器件在不工作的状态下静态漏电流偏大导致芯片待机功耗偏大的问题。
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