一种无热阵列波导光栅波分复用器的切割工艺
摘要:
本发明公开了一种无热阵列波导光栅波分复用器的切割工艺,包括以下步骤:(1)将特制的金属切割盘于机器之上;(2)放置3块粘接好芯片的金属底座于金属切割盘上,分别与3组螺丝孔对齐,将螺丝放入3组螺丝孔中,将螺丝锁紧,使用指定位置测高方法将刀片与金属底座高度置零,将高度参数输入在切割机中,最后调整好切割位置,便可进行切割;(3)切割完成后松开螺丝取出,即完成切割工序。本发明流程简单化,操作方便,大大提高生产效率;成本低,无需使用耗材等其他辅助设备;准确性高,避免人工测量的误差,提高了生产良率。
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