用于气敏材料的多孔硅/氧化钨纳米线复合结构的制备方法
摘要:
本发明公开了一种用于气敏材料的多孔硅/氧化钨纳米线复合结构的制备方法,首先采用p型单晶硅作为基底,利用双槽电化学的方法在基底表面制备多孔硅层;再以金属钨作为耙材,利用磁控溅射的方法在多孔硅表面沉积金属钨薄膜;最后,在水平管式炉中,以氩气作为工作气体,氧气作为反应气体,600~750℃条件下,制得多孔硅/氧化钨纳米线复合结构的气敏材料。本发明降低了制备氧化钨纳米线生长温度,显著提高了复合结构气敏材料的比表面积,在150℃的条件下对2ppm NO2的灵敏度为4.76,具有制备工艺简单,易于控制,成本低廉以及对NO2高灵敏度探测等优点。
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