Invention Grant
- Patent Title: 采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器
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Application No.: CN201310706006.6Application Date: 2013-12-20
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Publication No.: CN103633558BPublication Date: 2016-04-20
- Inventor: 傅焰峰 , 罗勇 , 张玓 , 汤学胜 , 钱坤 , 唐毅 , 胡胜磊 , 胡强高
- Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- Assignee: 武汉光迅科技股份有限公司
- Current Assignee: 武汉光迅科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- Agency: 北京天奇智新知识产权代理有限公司
- Agent 陆军
- Main IPC: H01S5/14
- IPC: H01S5/14 ; H01S5/06

Abstract:
本申请公开了一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器,其包括依次设置的MEMS反射镜(8)、光栅(6)、第一光束准直透镜(2)、半导体光增益器件(1)、第二光束准直透镜(3)、光隔离器(4),其中,所述半导体光增益器件(1)、第一光束准直透镜(2)、MEMS反射镜(8)、光栅(6)构成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔,并且,所述宽带可调谐外腔激光器还包括驱动控制器(13),其与所述MEMS反射镜(8)、所述半导体光增益器件(1)连接。本申请形成了简化的Littman激光器结构,采用了小型悬臂梁式MEMS反射镜替代传统的大平面镜,实现了Littman激光器的小型化,并能进一步增强MEMS的振动适应性。
Public/Granted literature
- CN103633558A 采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器 Public/Granted day:2014-03-12
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