采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器
Abstract:
本申请公开了一种采用小型MEMS镜的宽带可调谐外腔激光器,其包括依次设置的MEMS反射镜(8)、光栅(6)、第一光束准直透镜(2)、半导体光增益器件(1)、第二光束准直透镜(3)、光隔离器(4),其中,所述半导体光增益器件(1)、第一光束准直透镜(2)、MEMS反射镜(8)、光栅(6)构成所述宽带可调谐外腔激光器的谐振腔,并且,所述宽带可调谐外腔激光器还包括驱动控制器(13),其与所述MEMS反射镜(8)、所述半导体光增益器件(1)连接。本申请形成了简化的Littman激光器结构,采用了小型悬臂梁式MEMS反射镜替代传统的大平面镜,实现了Littman激光器的小型化,并能进一步增强MEMS的振动适应性。
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