发明授权

涂胶系统
摘要:
本发明提供一种涂胶系统,该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路,其中,该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器;该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接,第二端与该排水管路相连接,第三端与该稀释剂容器相连接,第四端与该多通阀相连接;该过滤缓冲装置的另一端与该第一三通阀的第一端相连;该第一三通阀的第二端与该稀释剂容器相连,第三端与该光刻胶容器相连。本发明能够大大减少由于光刻胶切换造成设备停机的时间,提高了设备的生产效率。
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