发明授权
- 专利标题: 涂胶系统
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申请号: CN201310705474.1申请日: 2013-12-19
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公开(公告)号: CN103645607B公开(公告)日: 2016-09-07
- 发明人: 曹景博 , 徐海涛 , 鲁成祝 , 江涛 , 黄炳相 , 王守波
- 申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
- 专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥京东方光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 李迪
- 主分类号: G03F7/16
- IPC分类号: G03F7/16
摘要:
本发明提供一种涂胶系统,该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路,其中,该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器;该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接,第二端与该排水管路相连接,第三端与该稀释剂容器相连接,第四端与该多通阀相连接;该过滤缓冲装置的另一端与该第一三通阀的第一端相连;该第一三通阀的第二端与该稀释剂容器相连,第三端与该光刻胶容器相连。本发明能够大大减少由于光刻胶切换造成设备停机的时间,提高了设备的生产效率。
公开/授权文献
- CN103645607A 涂胶系统 公开/授权日:2014-03-19
IPC分类: