本发明公开了一种SF6气体设备故障熔融物成分测定方法，其具体步骤如下：A、样品预处理；B、定性及半定量分析，包括利用EDS能谱仪确定样品中元素种类及相对含量以及利用X射线衍射光谱仪确定样品中的化合物种类；C、定量分析，包括进行ICP测试测定样品中的阳离子含量以及进行IC测试测定样品中的阴离子含量。本发明SF6气体设备故障熔融物成分测定方法通过EDS能谱仪测试、XRD测试、ICP测试和IC测试结果的有机结合，对SF6气体设备故障熔融物成分定性和定量分析，可准确测定SF6气体设备故障熔融物成分，有助于电力设备故障分析以及指导设备的运行和日常维护。