本发明公开了一种新型的既可以检查异物的面积有可以检查异物的高度的一种异物检查机，该检查机包括：一基板承载平台，用于传送基板；若干图像传感器，固定于该承载平台中上部的支架上，一画像处理机，该画像处理机与图像传感器通过以太网相连接，画像处理机将图像传感器收集到的图像进行初步处理；还包括若干2D激光位移传感器，用于检测基板异物的高度和位置的信息，均匀分成两排并分别排列在基板承载平台的传入端的上下两侧。通过本发明的图像传感器和2D激光位移传感器的结合的技术方案，在检查异物截面积大小的同时精确检查异物的高度，有效地避免因异物漏检而造成基板和治具刮伤的状况，避免的产品不良的发生。