发明授权
- 专利标题: 一种新型GaN基LED结构及制备方法
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申请号: CN201310744819.4申请日: 2013-12-30
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公开(公告)号: CN103715322B公开(公告)日: 2016-08-31
- 发明人: 杨晓杰 , 李晓东
- 申请人: 苏州矩阵光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰大道凤凰科技园D栋
- 专利权人: 苏州矩阵光电有限公司
- 当前专利权人: 苏州矩阵光电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰大道凤凰科技园D栋
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 张建纲
- 主分类号: H01L33/20
- IPC分类号: H01L33/20 ; H01L33/22
摘要:
本发明提供一种新型GaN基LED结构及制备方法,属于半导体光电子器件的制备领域。本发明区别现有技术的核心是:通过在p+-GaN层和n+-GaN层上高温生长掺杂Mg的p-型GaN外延层。其中n+-GaN层中的Si原子可以有效地抑制GaN外延层的点缺陷的形成和发光淬灭现象,p+-GaN层有助于提高空穴电流的注入效率并降低LED的工作电压。在p+-GaN层和n+-GaN层上高温生长GaN基LED,提高了p-型GaN的晶体质量及其中的空穴浓度与迁移率,从而改善了空穴电流的向量子阱有源区的注入效率和LED的发光效率。
公开/授权文献
- CN103715322A 一种新型GaN基LED结构及制备方法 公开/授权日:2014-04-09
IPC分类: