发明公开
- 专利标题: 激光加工装置
- 专利标题(英): Laser processing apparatus
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申请号: CN201310013802.1申请日: 2013-01-15
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公开(公告)号: CN103722292A公开(公告)日: 2014-04-16
- 发明人: 丁一荣 , 韩圭完 , 金俊亨
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 齐葵; 王诚华
- 优先权: 10-2012-0112663 2012.10.10 KR
- 主分类号: B23K26/142
- IPC分类号: B23K26/142
摘要:
本发明涉及一种激光加工装置,该激光加工装置利用激光,包括:光源,用于沿第一方向形成中空激光束;反射部件,用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向所述基板的第二方向;透镜,用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束;及空气供给部,用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气,所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔,所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔,所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。
公开/授权文献
- CN103722292B 激光加工装置 公开/授权日:2017-10-31