发明授权
- 专利标题： 三维晶体光学回音壁微腔的制备方法
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申请号： CN201410002624.7申请日： 2014-01-03
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公开(公告)号： CN103738915B公开(公告)日： 2015-10-28
- 发明人: 唐家雷 , 林锦添 , 程亚 , 何飞 , 乔玲玲
- 申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 申请人地址： 上海市嘉定区800-211邮政信箱
- 专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 当前专利权人地址： 上海市嘉定区800-211邮政信箱
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 张泽纯
- 主分类号： B81C99/00
- IPC分类号： B81C99/00 ; B23K26/362 ; B23K26/00
摘要：
一种三维晶体光学回音壁微腔的制备方法，包括对浸没在液体中的晶体进行飞秒激光选择性烧蚀和利用聚焦离子束研磨微腔侧壁。本发明方法制备的三维晶体光学回音壁微腔能将光通过腔体与外界面的连续全内反射限制在腔内，具有极高的表面光洁度，小的模式体积与高的品质因子。该方法适用于各种晶体材料和玻璃等。
公开/授权文献
- CN103738915A 三维晶体光学回音壁微腔的制备方法 公开/授权日：2014-04-23
