发明公开
CN103754819A 柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of flexible anti-drag skin of micro-electromechanical system (MEMS)
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申请号: CN201410026555.3申请日: 2014-01-21
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公开(公告)号: CN103754819A公开(公告)日: 2014-04-30
- 发明人: 李勇 , 周凯 , 佟浩
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 代理机构: 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
- 代理商 哈达
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
一种柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法,包括:提供一基底;在所述基底上形成一柔性衬底;在所述柔性衬底上制备图案化电极,所述图案化电极包括多个相互交错排列的电解阳极和电解阴极;在所述柔性衬底和所述图案化电极上用光刻胶制备微凸柱阵列;将第一预聚物填充到所述微凸柱阵列的凸柱间隙中,待所述第一预聚物填充完毕后,固化所述第一预聚物,所述第一预聚物聚合成第一聚合物,得到柔性表层;利用刻蚀工艺去除所述微凸柱阵列,使所述凸柱底部的图案化电极暴露出来,同时形成微凹坑阵列;将所述基底剥离,得到所述柔性MEMS减阻蒙皮。
公开/授权文献
- CN103754819B 柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法 公开/授权日:2015-10-21