• 专利标题: 柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法
  • 专利标题(英): Preparation method of flexible anti-drag skin of micro-electromechanical system (MEMS)
  • 申请号: CN201410026555.3
    申请日: 2014-01-21
  • 公开(公告)号: CN103754819A
    公开(公告)日: 2014-04-30
  • 发明人: 李勇周凯佟浩
  • 申请人: 清华大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
  • 专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
  • 代理机构: 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
  • 代理商 哈达
  • 主分类号: B81C1/00
  • IPC分类号: B81C1/00
柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法
摘要:
一种柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法,包括:提供一基底;在所述基底上形成一柔性衬底;在所述柔性衬底上制备图案化电极,所述图案化电极包括多个相互交错排列的电解阳极和电解阴极;在所述柔性衬底和所述图案化电极上用光刻胶制备微凸柱阵列;将第一预聚物填充到所述微凸柱阵列的凸柱间隙中,待所述第一预聚物填充完毕后,固化所述第一预聚物,所述第一预聚物聚合成第一聚合物,得到柔性表层;利用刻蚀工艺去除所述微凸柱阵列,使所述凸柱底部的图案化电极暴露出来,同时形成微凹坑阵列;将所述基底剥离,得到所述柔性MEMS减阻蒙皮。
公开/授权文献
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