发明授权

角速度传感器
摘要:
本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤(3)具有圆柱状或者圆锥状。膜片(1)的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部(ST)的形状。在由第1假想线(L1)以及第2假想线(L2)分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极(11)。在由第1假想对角线(CL1)和第2假想对角线(CL2)分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极(13)。
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