发明授权
CN103765160B 角速度传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 角速度传感器
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申请号: CN201280042188.5申请日: 2012-09-03
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公开(公告)号: CN103765160B公开(公告)日: 2016-08-31
- 发明人: 田村雅英 , 川崎修 , 中野贵之 , 新川翔平 , 矢野秀和 , 今村彻治
- 申请人: 北陆电气工业株式会社
- 申请人地址: 日本富山县
- 专利权人: 北陆电气工业株式会社
- 当前专利权人: 北陆电气工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本富山县
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 陈华成
- 优先权: 2011-192127 2011.09.02 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/072308 2012.09.03
- 国际公布: WO2013/032003 JA 2013.03.07
- 进入国家日期: 2014-02-28
- 主分类号: G01C19/5719
- IPC分类号: G01C19/5719 ; H01L41/047 ; H01L41/08
摘要:
本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤(3)具有圆柱状或者圆锥状。膜片(1)的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部(ST)的形状。在由第1假想线(L1)以及第2假想线(L2)分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极(11)。在由第1假想对角线(CL1)和第2假想对角线(CL2)分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极(13)。
公开/授权文献
- CN103765160A 角速度传感器 公开/授权日:2014-04-30