- 专利标题: 一种含有氮化钒纳米插入层的高硬度TiSiN涂层及其制备方法
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申请号: CN201410044739.2申请日: 2014-02-07
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公开(公告)号: CN103774090B公开(公告)日: 2016-01-20
- 发明人: 李伟 , 薛增辉 , 刘平 , 马凤仓 , 刘新宽 , 陈小红 , 何代华 , 殷晓 , 封子华
- 申请人: 上海理工大学 , 青岛双星橡塑机械有限公司
- 申请人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 专利权人: 上海理工大学,青岛双星橡塑机械有限公司
- 当前专利权人: 上海理工大学,青岛双星橡塑机械有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 代理机构: 上海申汇专利代理有限公司
- 代理商 吴宝根; 马文峰
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/35 ; B32B9/04 ; B32B15/04
摘要:
本发明公开一种含有VN纳米插入层的高硬度TiSiN涂层及制备方法。所述含有VN纳米插入层的高硬度TiSiN涂层由VN层和TiSiN层交替沉积在基体上而形成的,靠近基体的一层为VN层,最上层也为VN层,含有VN纳米插入层的高硬度TiSiN涂层厚度为1.8-3.0μm,每一TiSiN层的厚度为5.0nm,每一VN层的厚度为0.3~0.8nm。其制备方法首先将基体表面抛光处理,经超声波清洗和离子清洗后,再采用反应溅射法在基体上交替溅射VN层和TiSiN层,最终得到最大硬度可达40.2 GPa的含有VN纳米插入层的TiSiN涂层。其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。
公开/授权文献
- CN103774090A 一种含有氮化钒纳米插入层的高硬度TiSiN涂层及其制备方法 公开/授权日:2014-05-07
IPC分类: