发明授权
- 专利标题: 一种分划板的制造方法
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申请号: CN201310684808.1申请日: 2013-12-13
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公开(公告)号: CN103777364B公开(公告)日: 2017-10-13
- 发明人: 吴空物 , 王静
- 申请人: 北京维信诺科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区上地东路1号院环洋大厦一层
- 专利权人: 北京维信诺科技有限公司
- 当前专利权人: 霸州市云谷电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区上地东路1号院环洋大厦一层
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 彭秀丽
- 主分类号: G02B27/32
- IPC分类号: G02B27/32 ; G03F9/00 ; G02B23/00
摘要:
本发明公开了一种分划板的制造方法,包括如下步骤:在光学元件上均匀涂覆光刻胶,并烘制成膜;利用绘图仪在光学元件上的光刻胶上制作镂空对位标;通过显微镜对准系统将带有实心对位标图案的母板与光学元件上的镂空对位标进行对位贴合,并将贴合后的光学元件进行曝光处理;将曝光后的光学元件置于显影液中进行光刻胶显影;清洗显影后的光学元件,制得分划板。本发明通过在光学元件上涂覆黑胶或深颜色的光刻胶,并采用激光绘图仪在光刻胶上精确制作镂空对位标,可实现母板与光学元件的精确定位贴合,提高了分划板的合格率,且制造工艺简单。
公开/授权文献
- CN103777364A 一种分划板的制造方法 公开/授权日:2014-05-07