发明授权
- 专利标题： 具有带集成横向特征的复合电极的声共振器
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申请号： CN201310446558.8申请日： 2013-09-25
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公开(公告)号： CN103780219B公开(公告)日： 2017-10-24
- 发明人: 达里乌斯·布拉卡 , 菲尔·尼克尔 , 克里斯·冯 , 约翰·克伊
- 申请人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
- 申请人地址： 新加坡新加坡市
- 专利权人： 安华高科技通用IP(新加坡)公司
- 当前专利权人： 安华高科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 新加坡新加坡市
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 林斯凯
- 优先权： 13/660,941 2012.10.25 US
- 主分类号： H03H9/17
- IPC分类号： H03H9/17 ; H03H9/02
摘要：
本申请案涉及一种具有带集成横向特征的复合电极的声共振器。一种体声波BAW共振器装置包含：底部电极，其在衬底上于腔及声反射器中的一者上方；压电层，其在所述底部电极上；及顶部电极，其在所述压电层上。在所述底部电极及所述顶部电极中的一者处的是具有集成横向特征的复合电极，所述集成横向特征布置于所述复合电极的平面顶部表面与底部表面之间且经配置以形成截止频率失配。
公开/授权文献
- CN103780219A 具有带集成横向特征的复合电极的声共振器 公开/授权日：2014-05-07
IPC分类:
