铜微蚀刻液及其补充液、以及配线基板的制造方法
Abstract:
本发明提供微蚀刻剂及其补给液、以及使用微蚀刻剂的配线基板的制造方法。本发明之微蚀刻剂为由包含铜离子、有机酸、卤化物离子、分子量为17~400的含有胺基之化合物及聚合物之水溶液所形成。所述聚合物为具有聚胺链及/或阳离子性基,且重量平均分子量为1000以上之水溶性聚合物。本发明之微蚀刻剂在将含有胺基之化合物的浓度设为A重量%,聚合物的浓度设为B重量%时,A/B的值为50~6000。依据本发明,即便是低蚀刻量也能维持铜与树脂等的密着性。
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