本发明提供一种形状测定方法及形状测定装置，其使触针沿着测定面平滑地扫描，从而实现高精度且快速的形状测定。重复包括平行移动和正交移动在内的测头(26)的相对于测定面的相对移动，该平行移动使触针(20)相对于测定面而向与测定面平行的方向移动指定的距离，该正交移动以在包括触针(20)的位置相对于测头(26)的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量Di的测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值C的方式，使测头(26)向根据当前的触针位置Si与过去的触针位置Si’之差而算出的测定面的法线方向移动。