晶圆级应用的RF屏蔽部
摘要:
根据本发明的一种在集成电路芯片上形成芯片上型RF屏蔽部的方法的一个实施例包括:提供单个化之前的具有前侧和背侧的晶圆级集成电路部件晶圆;在晶圆的背侧上施加树脂金属层;以及将晶圆分离成分立的RF屏蔽部件。在单个化,即,在将晶圆分离成分立的RF屏蔽部件之后,位于背侧上的树脂金属层有效地用作RF屏蔽部。
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