发明授权
- 专利标题: 一种金属纳米结构的制备方法
-
申请号: CN201210539491.8申请日: 2012-12-13
-
公开(公告)号: CN103863999B公开(公告)日: 2015-10-28
- 发明人: 李俊杰 , 孙旺宁 , 顾长志 , 金爱子 , 夏晓翔 , 杨海方 , 全宝刚 , 李无暇
- 申请人: 中国科学院物理研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南三街8号
- 代理机构: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司
- 代理商 王勇; 王博
- 主分类号: B81B1/00
- IPC分类号: B81B1/00 ; B81C1/00
摘要:
本发明提供一种金属纳米结构的制备方法,包括:在衬底上形成第一光刻胶层,并利用纳米压印法在所述第一光刻胶层中形成纳米结构,其中所述第一光刻胶层具有第一玻璃化温度;在所述具有纳米图案的第一光刻胶层上沉积金属材料层;在转移衬底上形成第二光刻胶层,所述第二光刻胶层具有高于第一玻璃化温度的第二玻璃化温度;将所述转移衬底上的所述第二光刻胶层与所述金属材料层粘结,并使所述第二光刻胶层固化;加热到所述第一玻璃化温度与所述第二玻璃化温度之间的温度,使所述第一光刻胶层进入粘流态,同时所述第二光刻胶层处于玻璃态;将所述金属材料层与所述第一光刻胶层机械分离,在金属材料层表面得到纳米结构。
公开/授权文献
- CN103863999A 一种金属纳米结构的制备方法 公开/授权日:2014-06-18