一种金属纳米结构的制备方法
摘要:
本发明提供一种金属纳米结构的制备方法,包括:在衬底上形成第一光刻胶层,并利用纳米压印法在所述第一光刻胶层中形成纳米结构,其中所述第一光刻胶层具有第一玻璃化温度;在所述具有纳米图案的第一光刻胶层上沉积金属材料层;在转移衬底上形成第二光刻胶层,所述第二光刻胶层具有高于第一玻璃化温度的第二玻璃化温度;将所述转移衬底上的所述第二光刻胶层与所述金属材料层粘结,并使所述第二光刻胶层固化;加热到所述第一玻璃化温度与所述第二玻璃化温度之间的温度,使所述第一光刻胶层进入粘流态,同时所述第二光刻胶层处于玻璃态;将所述金属材料层与所述第一光刻胶层机械分离,在金属材料层表面得到纳米结构。
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