一种硅微谐振式加速度计电路控制系统
摘要:
本发明公开了一种硅微谐振式加速度计电路控制系统,包括两个对称的电路控制系统,分别用于控制上谐振器和下谐振器,其中,每个电路控制系统包括:前置读取电路、滤波放大电路、二次放大电路、峰值检波电路、模数转换电路、PID控制器、数模转换电路、比较电路、全数字锁相环、驱动电路、晶振电路、温度传感器电路、温度补偿模块和通信接口模块。电路控制环路中温度补偿措施克服了器件温度漂移因素的影响,环路峰值信号的采集降低了系统采样频率和系统时钟频率,进而降低了系统设计的难度。模拟和数字相结合的控制方法,使得本系统可以直接与PC相连,实现对加速度计的实时监测和实时修改FPGA内部控制参数,提高了系统的集成度。
公开/授权文献
0/0