Invention Publication
- Patent Title: IGZO薄膜晶体管及改善IGZO薄膜晶体管电学性能的方法
- Patent Title (English): IGZO thin film transistor and method for improving electrical property of IGZO thin film transistor
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Application No.: CN201410073460.7Application Date: 2014-02-28
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Publication No.: CN103887344APublication Date: 2014-06-25
- Inventor: 鲁海生
- Applicant: 上海和辉光电有限公司
- Applicant Address: 上海市金山区工业区大道100号1幢二楼208室
- Assignee: 上海和辉光电有限公司
- Current Assignee: 上海和辉光电有限公司
- Current Assignee Address: 上海市金山区工业区大道100号1幢二楼208室
- Agency: 上海申新律师事务所
- Agent 吴俊
- Main IPC: H01L29/786
- IPC: H01L29/786 ; H01L21/336

Abstract:
本发明提供了一种IGZO薄膜层晶体管及改善IGZO薄膜层晶体管电学性能的方法,包括以下步骤:提供一半导体结构,所述半导体结构包括一衬底,所述衬底之上部分表面形成有金属栅,所述金属栅及衬底上表面覆盖有一栅氧化层;制备一IGZO薄膜层覆盖于所述栅氧化层上方,刻蚀所述IGZO薄膜层形成有源层和像素电极区,在所述IGZO薄膜层上方依次形成源电极、漏电极和钝化层;其中,在刻蚀所述IGZO薄膜层形成有源层后,采用等离子处理工艺对所述IGZO薄膜层表面进行处理。本发明通过采用含氧等离子体和UV辐射对IGZO薄膜层进行处理,改善IGZO薄膜的氧含量,减少IGZO薄膜与栅氧化层之间晶格缺陷,同时还可消除IGZO薄膜表面的杂质及缺陷,提高器件性能。
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