发明授权
- 专利标题： 电编程熔丝结构
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申请号： CN201310007165.7申请日： 2013-01-08
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公开(公告)号： CN103915411B公开(公告)日： 2016-12-28
- 发明人: 廖淼
- 申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号： H01L23/525
- IPC分类号： H01L23/525
摘要：
本发明提供一种电编程熔丝结构，包括：阳极和阴极；位于所述阳极和阴极之间的熔丝区，所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝，所述熔丝的宽度小于所述阳极和阴极的最小宽度，所述多条熔丝具有不同的宽度。由于熔丝的宽度不同，需要被熔断所需要的电流不同，即可实现在不同电流下，不同的熔丝被熔断，而使得剩下的E-fuse的电阻不同，从而可实现可多次编程的可变电阻的电编程熔丝结构。
公开/授权文献
- CN103915411A 电编程熔丝结构 公开/授权日：2014-07-09
IPC分类:
