发明公开
- 专利标题: 一种基于特殊石英材料的声表面波温度传感器
- 专利标题(英): Surface acoustic wave temperature sensor based on special quartz material
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申请号: CN201310012890.3申请日: 2013-01-14
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公开(公告)号: CN103926017A公开(公告)日: 2014-07-16
- 发明人: 张敬钧 , 董启明
- 申请人: 北京中讯四方科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区苏家坨镇聂各庄路7号
- 专利权人: 北京中讯四方科技股份有限公司
- 当前专利权人: 北京中讯四方科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区苏家坨镇聂各庄路7号
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 赵镇勇
- 主分类号: G01K11/22
- IPC分类号: G01K11/22
摘要:
本发明提供了一种基于特殊石英材料的声表面波温度传感器,包括一个叉指电极、若干个反射栅条和衬底材料,所述叉指电极以重叠加权的形式设置在所述衬底材料上,所述若干个反射栅条以预定的相位点阵加权的形式设置在所述衬底材料上,进一步提高了器件的Q值。本发明采用声表面波器件将温度变化量转化为器件中心频率的变化量,并经将频率的变化量输出,具有较高的采样速度和精度。