发明公开
- 专利标题: 用于药物包装的钝化、pH保护性或润滑性涂层、涂布方法以及设备
- 专利标题(英): Passivation, ph protective or lubricity coating for pharmaceutical package, coating process and apparatus
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申请号: CN201280055031.6申请日: 2012-11-09
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公开(公告)号: CN103930595A公开(公告)日: 2014-07-16
- 发明人: J·T·费尔兹 , T·E·菲斯克 , R·S·艾布拉姆斯 , J·弗格森 , J·R·弗里德曼 , R·J·潘伯恩 , P·J·萨高纳 , C·韦卡特
- 申请人: SIO2医药产品公司
- 申请人地址: 美国亚拉巴马
- 专利权人: SIO2医药产品公司
- 当前专利权人: SIO2医药产品公司
- 当前专利权人地址: 美国亚拉巴马
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 柳冀
- 优先权: 61/558,885 2011.11.11 US; 61/636,377 2012.04.20 US; 61/645,003 2012.05.09 US
- 国际申请: PCT/US2012/064489 2012.11.09
- 国际公布: WO2013/071138 EN 2013.05.16
- 进入国家日期: 2014-05-09
- 主分类号: C23C16/40
- IPC分类号: C23C16/40
摘要:
在此提供了一种用于通过PECVD在一个衬底表面上提供一个钝化层或pH保护性涂层的方法,该方法包括由包含聚合气体的一种气态反应物,例如一种有机硅前体和任选地O2产生一种等离子体。该钝化层或pH保护性涂层的润滑性、钝化、pH保护性、疏水性和/或阻隔特性是通过设定该前体进料中的O2与有机硅前体的比率、和/或通过设定用于产生该等离子体的电功率来设定。具体地说,提供了通过所述方法制成的一个润滑性和/或钝化层或pH保护性涂层。