硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法;以热丝CVD装置为沉积设备,在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物,形成共掺杂体系,调节反应工艺参数,制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单,获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面,耐磨损性高且均一,易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。
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