利用光谱吸收法测量SF6分解物CF4气体浓度的方法
摘要:
利用光谱吸收法测量SF6分解物CF4气体浓度的方法,属于光电检测技术领域,本发明为解决现有测量CF4气体浓度的方法不能同时满足测量精度高和测量设备成本低,并且不能实现在线监测的问题。本发明所述测量CF4气体浓度的具体过程为:在样品池中充入大气,将激光器发射的激光光束通过第一聚光镜变成平行光束入射至样品池,透射的光束采用第二聚光镜汇聚到光谱仪的入射狭缝中,通过该第二聚光镜获取样品池中大气的光谱;将样品池中的大气替换成待测气体CF4;重复上述光信号处理过程,获取待测气体CF4的光谱;根据比尔定律,获取待测气体CF4的浓度。本发明用于SF6检测器中。
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