发明公开
- 专利标题: 一种弛豫铁电单晶热释电红外探测器及其制备方法
- 专利标题(英): Relaxation ferroelectric monocrystal pyroelectric infrared detector and preparation method thereof
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申请号: CN201410199521.4申请日: 2014-05-12
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公开(公告)号: CN103943771A公开(公告)日: 2014-07-23
- 发明人: 罗豪甦 , 李龙 , 赵祥永 , 许晴 , 杨林荣 , 狄文宁 , 徐海清 , 王升 , 李晓兵 , 林迪 , 任博 , 焦杰 , 王西安
- 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区定西路1295号
- 专利权人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区定西路1295号
- 代理机构: 上海瀚桥专利代理事务所
- 代理商 曹芳玲; 姚佳雯
- 主分类号: H01L37/02
- IPC分类号: H01L37/02
摘要:
本发明提供一种弛豫铁电单晶热释电红外探测器及其制备方法,该探测器包括:设有引脚的底座;与所述底座封装在一起以形成容纳空间的带有窗口的壳体;设置于所述容纳空间中的灵敏元件,所述灵敏元件由弛豫铁电单晶制成,且其厚度在20μm以下;分别设置于所述灵敏元件的上表面和所述灵敏元件的下表面的上电极和下电极;覆盖于所述灵敏元件的上电极的吸收层;以及与所述灵敏元件相连的电流模式电路。本发明的探测器可具备高响应率、低噪声和高探测率。
IPC分类: