发明公开
- 专利标题: 一种生产透明导电膜玻璃的方法
- 专利标题(英): Method for producing transparent conducting film glass
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申请号: CN201410194869.4申请日: 2014-05-10
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公开(公告)号: CN103951283A公开(公告)日: 2014-07-30
- 发明人: 彭寿 , 王东 , 金良茂 , 石丽芬 , 单传丽 , 张家林 , 王芸 , 马立云 , 甘治平
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院 , 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院,中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C03C17/34
- IPC分类号: C03C17/34
摘要:
本发明公开一种生产透明导电膜玻璃的方法,包括以下步骤:(1)在退火窑内,将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体,通入到温度为460~480℃的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面沉积形成厚度为50~90nm的屏蔽层;(2)在退火窑内,玻璃温度为435~455℃的范围内,将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体,通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面形成厚度为250~400nm的导电层。本发明有效降低了镀膜反应的温度,有利于提高薄膜质量,提高前驱气体利用率,有利于浮法线工况稳定。
公开/授权文献
- CN103951283B 一种生产透明导电膜玻璃的方法 公开/授权日:2016-04-13