一种生产透明导电膜玻璃的方法
摘要:
本发明公开一种生产透明导电膜玻璃的方法,包括以下步骤:(1).在退火窑内,将含有硅烷、含氧源的气态屏蔽层前驱体以惰性气体为载体,通入到温度为460~480℃的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态屏蔽层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面沉积形成厚度为50~90nm的屏蔽层;(2).在退火窑内,玻璃温度为435~455℃的范围内,将含有预制气化的锌源、铝源、含氧源的气态导电层前驱体以惰性气体为载体,通入到已经沉积有屏蔽层的玻璃表面上,利用激光束平行入射,使气态导电层前驱体光致解离发生化学气相反应,在玻璃表面形成厚度为250~400nm的导电层。本发明有效降低了镀膜反应的温度,有利于提高薄膜质量,提高前驱气体利用率,有利于浮法线工况稳定。
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